四氯化硅烟气净化

一、设计工况参数1.1 原始设计参数：年产XXX吨四氯化硅，年操作工时8000h，X套合成炉，四氯化硅合成炉出口温度800-1100℃, 合成气组成状况：四氯化硅≦40-60%，氮气40-60%，含有...