硅粉回收除尘装置

多晶硅制备领域，一种硅粉回收除尘装置。

多晶硅是制造光伏发电的太阳能电池片的基础材料。同时，以电子级多晶硅为原料生产的单晶硅是电子信息产业的基础材料，是生产大规模集成电路、半导体分离元件、电力电子器件的原材料。目前国际上多晶硅生产工艺有70％以上采用改良西门子法。所谓西门子法，也被称作三氯氢硅氢还原法，是一种在还原炉内通过发生化学反应来生成多晶硅的方法。

三氯氢硅的合成步骤为采用工业硅粉粉碎至80～120目后用蒸汽干燥，经硅粉计量罐加入沸腾炉料斗，通入氯化氢气体将硅粉带入沸腾炉，在沸腾炉内反应生成SiHCl 3 ，同时生成SiCl 4 、SiH 2 Cl 2 、金属氯化物、聚氯硅烷、氢气等组分的合成气，合成气从合成炉顶部出来，进入干法除尘系统除去部分夹带硅粉后送入湿法除尘系统，除去气体中的细小硅尘，水解气体所含部分金属氧化物，净化后合成气送往合成气干法分离工序。

而在SiHCl 3 干法除尘过程中，无法将细小的硅粉在此步骤中完全除去，并且回收到的部分硅粉，在硅粉罐卸料过程中，容易扬起，导致粉尘污染以及硅粉的浪费。

有鉴于此，一种硅粉回收除尘装置，通过多级分离除尘，尽可能系统中粒径不同的硅粉，并通过在硅粉罐卸料口增设硅粉分离回收装置，有效的避免了在卸料过程中的扬尘以及硅粉的浪费，提高了生产原料的循环利用程度，同时也有益于作业人员的身体健康。

硅粉回收除尘装置，包括依次连接的反应炉、旋风分离器、除尘器、硅粉罐，还包括硅粉分离回收装置与硅粉袋，硅粉分离回收装置入口与硅粉罐出口连接，硅粉分离回收装置出口与硅粉袋连接，硅粉分离回收装置上还设置有排气孔。

硅粉回收除尘装置，包括依次连接的反应炉、旋风分离器、除尘器、硅粉罐、硅粉袋。旋风分离器为两级分离器，包括第一分离器与第二分离器，反应炉生成的气体夹带着硅粉，先后通过两级旋风分离器与除尘器，收集到了部分颗粒较大的硅粉，达到了初步除尘的目的。

在硅粉罐的出口处，还设置了硅粉分离回收装置，硅粉分离回收装置为一个中空的腔体，在腔体内壁两侧设置了多组阻尼片，可以有效增大硅粉与腔体的接触面积，使得硅粉中颗粒较小的硅粉得以在腔体中与气体成分分离，落入下面的硅粉袋中，而分离出的气体则通过排气孔通入水槽进行吸收。

硅粉回收除尘装置，有效的回收生成过程中颗粒粒径不同的硅粉，尤其是在硅粉罐卸料的过程中，增加了硅粉分离回收腔，避免了扬尘污染，并且有效回收了硅粉，提高了生产的安全性，也提高了生产原料的利用程度。